在齒輪泵使用的過程中,由于真空泵油直接進入泵體內(nèi)腔，在真空泵運行時，隨著氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。油品中飽和蒸汽壓高的分子組分就能蒸發(fā)到真空的空間，即影響真空泵極限壓強的達到，又可向真空系統(tǒng)返流擴散，污染真空系統(tǒng)，并直接影響極限真空的獲得。真空齒輪泵工作原理屬于正位移泵，工作時依靠主、從動齒輪的相互嚙合造成工作容積變化來輸送熔體。工作容積由泵體、齒輪的齒槽及具有側(cè)板功能的軸承套構(gòu)成。當(dāng)齒輪旋轉(zhuǎn)時，熔體即進入吸入腔兩齒輪的齒槽中，隨著轉(zhuǎn)動，熔體從兩側(cè)被帶入排出腔，齒輪再度嚙合，使齒槽中的熔體被擠出排出腔，壓送到出口管道。軸承不能使用通常的潤滑油脂，以避免污染熔體，通常采用熔體自潤滑。
使泵的工作室不斷增大或縮小，當(dāng)工作室的容積變得最小時，即與真空泵的入氣管連通，于是氣體就進入逐漸變大的工作室空間；當(dāng)工作室的容積擴大時，即與入氣管分開，使容積閥就打開，把壓縮氣體通過油層排出。泵腔內(nèi)容積不斷膨脹與壓縮，完成吸氣和排氣過程，使容器內(nèi)氣體逐漸排出達到需要的真空度。真空泵運行時，隨著泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子上兩個縱向槽中的滑片或偏心輪上的滑閥環(huán)，緊貼著定子的內(nèi)壁滑動，轉(zhuǎn)子、滑片與定子內(nèi)壁必然依靠油品的潤滑性避免摩擦副材料的擦傷，利用油品隔離大氣，并帶走因摩擦產(chǎn)生的熱量。因此，真空泵油在泵體內(nèi)擔(dān)負著潤滑、密封、和冷卻的作用。