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羅茨真空泵與前級(jí)泵的組合

 

羅茨真空泵與前級(jí)泵的組合

羅茨真空泵一般分成兩大類,一類為干式羅茨真空泵,一類為濕式羅茨真空泵。濕式羅茨真空泵不配前級(jí)泵,而干式羅茨真空泵則需要配前級(jí)泵組成機(jī)組。所以,在談到運(yùn)行時(shí),必然要聯(lián)系到羅茨真空泵機(jī)組。

組成羅茨真空泵機(jī)組,羅茨真空泵與前級(jí)泵的抽速比的選擇是很重要的。如前所述,羅茨真空泵的壓縮比很有限。當(dāng)入口壓強(qiáng)在100Torr一直到大氣壓時(shí),壓縮比為2.15;當(dāng)入口壓強(qiáng)為10-1Torr時(shí),壓縮比可達(dá)40。

在考慮機(jī)組組成時(shí),首先要考慮羅茨真空泵入口壓強(qiáng)范圍,假設(shè)是lOTorr,可知最大容許壓縮比為8,這一壓縮比決定著前級(jí)泵的容量,因壓縮比是兩者抽速的反比。一般壓縮比在2-10內(nèi)選取。

另外,應(yīng)當(dāng)考慮對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求。真空設(shè)備是作為輔助設(shè)備應(yīng)用于各種機(jī)械設(shè)備中的,如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng),可選較小的前級(jí)泵(壓縮比可大些),假若真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就用較大的前級(jí)泵。有時(shí)為了更好地發(fā)揮設(shè)備的效率,機(jī)組前裝有一臺(tái)較大的預(yù)抽泵,工作正常后再關(guān)掉它。

為了提高真空度,有時(shí)把兩個(gè)羅茨真空泵串聯(lián)使用,選二者的抽速比為2- 5。如果壓縮比選大了,前級(jí)泵就很小,不利于系統(tǒng)的預(yù)抽,而且當(dāng)?shù)谝患?jí)羅茨真空泵反壓強(qiáng)提高時(shí),容易造成第二級(jí)羅茨真空泵超負(fù)荷。

當(dāng)用水環(huán)泵作前級(jí)泵時(shí),羅茨真空泵與其匹配的抽速一般選在2-4倍之間。一般前級(jí)泵多采用旋片泵、滑閥泵和水環(huán)泵并與羅茨真空泵組成機(jī)組。   

如前所述,如采用油封式機(jī)械泵作前級(jí)泵,用油作介質(zhì),很不經(jīng)濟(jì)。如真空度要求不很高的場(chǎng)合,則可采用水環(huán)泵作前級(jí)泵,因水環(huán)泵工作介質(zhì)是水,很經(jīng)濟(jì)。


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