高真空抽氣機組

高真空機組工作于分子流狀態(tài)下，與低真空機組相比，其特點是工作壓力較低(10-2~10-6pa)、排氣最小、抽速大。機組的主泵通常為擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦升華泵、低溫冷凝泵等.這些泵不能直接對大氣工作，因此需要配置預抽泵和前級泵、有些擴散泵高真空抽氣機組還配有前級維持泵或貯氣雄，以防止氣壓波動，改善機組性能。

(1)預抽泵。預抽泵(粗抽泵)主要用來抽除真空室中的大量氣體，使真空室內(nèi)的氣體壓力由大氣壓力降到主泵能夠啟動工作時的真空度，因此，要求預抽泵所達到的壓力小于主泵的啟動工作壓力，機組所選用預抽泵的抽速大小由粗抽時間決定.為了提高真空機組的利用率，預抽泵可以兼做前級泵用。兩種不同抽氣功能之間靠真空閥門來分隔和切換。

(2)維持泵。由于擴散泵和油增壓泵啟動時間長，在周期性操作的真空設(shè)備中，當真空室裝料和卸料的時候，往往為了縮短工作周期而不停止主泵，將高真空閥門和前級管道閥門關(guān)閉，使主泵仍處于工作狀態(tài)。由于閥門等總是有極少量的漏氣和表面放氣，經(jīng)過一定時間主泵泵腔內(nèi)的壓強增加，超過泵工作掖的最大允許壓強而使泵油蒸氣氧化。為了解決這個問題，一個辦法是用前級泵繼續(xù)抽出主泵中的氣體，但此時主泵內(nèi)排出的氣體量很小，出現(xiàn)前級泵大馬拉小車，浪費能源。為此可采用另一個辦法，停止前級泵工作，關(guān)閉前級管道閥門，在主泵出口處設(shè)置維持泵或儲氣鑲，這樣就可以保證既能排出主泵內(nèi)的氣體.又可以節(jié)省能源消耗。儲氣罐不能做得別很大，它只能用在以擴散泵為主泵的小型真空機組上.而維持泵可用在配置大型主泵的真空機組中。

(3)貯氣罐。小型擴散泵高真空抽氣機組通常配置有貯氣罐，設(shè)置在擴散泵和前級泵之間，貯存擴散泵排出的氣體，設(shè)置貯氣罐的原因有:

1)系統(tǒng)防振的需要。真空系統(tǒng)工作時，某些工藝過程要求嚴格防振，因此需要在真空室處在工作狀態(tài)時，要使前級機械泵在一段時間內(nèi)停止工作.在這段時間內(nèi)，擴散泵排出的氣體全都貯存在貯氣罐中，用貯氣峨代替機械泵維持擴散泵正常工作。

2)為了縮短工作周期。有些生產(chǎn)工藝要求在不關(guān)閉擴散泵加熱器的情況下，真空室放進大氣換取工件、裝料.而真空機組的前級泵兼做預抽泵用.裝料后，用機械泵頂抽真空室，在這段時間內(nèi)利用貯氣罐來維持擴散泵工作(作為前級泵用)。

3)為防止真空室內(nèi)瞬時大量放氣影響擴散泵正常工作。真空工藝生產(chǎn)中的某段時間內(nèi)放氣量特別大，但時間短。若按此時的最大排氣量配前級機械泵很不經(jīng)濟，此時可在系統(tǒng)中配置前級貯氣雄，在最大放氣量時貯存一部分氣體，以避免擴散泵的前級壓力超過最大反壓力。

4)用于穩(wěn)定擴散泵出口壓力。由于機械泵排氣是脈動的，雖然頻率不高，但是也會引起擴散泵出口壓力的波動，設(shè)置貯氣罐可減少這種波動。
 

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