旋片式、滑閥式、余擺線式多級(jí)泵的組成結(jié)構(gòu)與工作原理

旋片式多級(jí)泵結(jié)構(gòu)與工作原理
旋片式多級(jí)泵轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在多級(jí)泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。旋片式泵屬于低多級(jí)泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高多級(jí)泵的前級(jí)泵。旋片式多級(jí)泵多為中小型泵，產(chǎn)品已經(jīng)系列化。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種，一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的泵度。旋片多級(jí)泵絕大多數(shù)是單工作腔結(jié)構(gòu)，常用兩個(gè)徑向滑片，也有用三個(gè)斜置滑片的。貫穿滑片多級(jí)泵也有應(yīng)用。
滑閥式多級(jí)泵結(jié)構(gòu)與工作原理
滑閥式多級(jí)泵在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個(gè)滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾動(dòng)，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng)，而把多級(jí)泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。滑閥式多級(jí)泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來(lái)改變吸氣腔容積的，故稱(chēng)滑閥多級(jí)泵。
余擺線式多級(jí)泵結(jié)構(gòu)與工作原理
在多級(jí)泵腔內(nèi)偏心裝有一個(gè)型線為余擺線的轉(zhuǎn)子，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。泵的動(dòng)平衡性好，所以運(yùn)轉(zhuǎn)較平穩(wěn)、振動(dòng)亦小，轉(zhuǎn)速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發(fā)展為大抽速的機(jī)械多級(jí)泵。由于吸氣管路短而粗，有利于提高多級(jí)泵低壓力下的抽速。

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