油擴散泵概述
油擴散泵概述
擴散泵全名叫擴散式蒸氣流泵,是蒸氣流泵之一種。產(chǎn)生蒸氣流的泵液種類雖很多,但絕大多數(shù)是低飽和蒸氣壓的油類。以擴散泵油作工作液的稱油擴散泵,以汞作擴散泵液的則稱汞擴散泵,油擴散泵最為常用,擴散泵需保證前級在10-2~10-3托的預真空條件下才能很好工作。通常用機械泵作前級泵。普通擴散泵可獲得10-4~10-9托的極限壓強,如果采用冷凍擋板或液氮冷阱,并對容器進行烘烤去氣,則可獲得10-8到10-11托的超高真空,如果泵設計得很好,再加上去除油蒸氣返流和永久氣體污染源等嚴格措施,那么獲得10-14托以上的極高真空也是可以達得到的。
擴散泵的主要優(yōu)點是:抽氣能力大,抽速范圍寬(目前生產(chǎn)的泵抽速從幾升/秒到十萬升/秒),對各種氣體包括惰性氣體(如氖、氦等)有相同的抽速,這是任何其他泵種所無法比擬的;此外與其他高真空或超高真空獲得設備相比,單位抽速所需成本較低(不象深冷泵等需極昂貴的冷凝劑),結構簡單,沒有機械轉(zhuǎn)動,操作方便且能反復循環(huán)使用,便于維護,使用壽命長,很易獲得高真空,因而,擴散泵自六十五年前發(fā)明以來,特別是近三十年,已被廣泛用于電子、冶金、化學、原子能等工業(yè)部門和空間技術等科學研究領域中。
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