羅茨真空泵的發(fā)展
羅茨真空泵的發(fā)展
羅茨真空泵是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來。羅茨鼓風(fēng)機(jī)在吸入口為正常大氣壓的情況下,將氣體加壓成0.1-2kg/cm出口壓強(qiáng),作為冶煉工業(yè)等的鼓風(fēng)使用。羅茨真空泵在結(jié)構(gòu)和原理上都與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,故沿用了相同的名稱。
二十世紀(jì)中葉,由于真空技術(shù)的發(fā)展,尤其是山于真空冶煉高級合金的需要,要求在冶煉真空系統(tǒng)中,解決在真空度為1~10-2Torr工作時具有大抽速的新型真空設(shè)備。當(dāng)時,適宜低真空工作的油封機(jī)械真空泵和適宜高真空工作的油擴(kuò)散泵,都不能很好地?fù)?dān)負(fù)這一任務(wù)。因?yàn)橛头鈾C(jī)械真空泵在1~10-2Torr時,抽速嚴(yán)重下降,工作效率很低,如勉強(qiáng)使之承擔(dān)大抽速,需要多臺并聯(lián)工作,必然造成很大浪費(fèi)。至于高真空適用的油擴(kuò)散泵,在這樣的入口壓強(qiáng)下尚不能工作。所以,在這種情況下必須設(shè)計(jì)出抽速大、效率高的新型真空泵。1944年在德國出現(xiàn)的羅茨真空泵,就是為適應(yīng)這一需要而誕生的產(chǎn)品。1974年成功地將羅茨泵用于真空冶煉,以后發(fā)展頗為迅速。我國從1960年開始設(shè)計(jì)和試制這種泵,二十多年來己有相當(dāng)發(fā)展,應(yīng)用較為普遍,泵的產(chǎn)量和質(zhì)量都在不斷提高,在我國真空工業(yè)中這種泵常稱為機(jī)械增壓泵。
現(xiàn)在,羅茨真空泵的應(yīng)用范圍越來越廣,幾乎在各種需要大抽速的真空泵系統(tǒng)中都得到應(yīng)用。國內(nèi)外真空技術(shù)工作者對羅茨真空泵的理論和應(yīng)用研究,也在不斷地深入。在轉(zhuǎn)子型線理論上發(fā)展了圓弧型線、擺線型線和漸開線型線。在可靠性方面,羅茨真空泵上附設(shè)自動調(diào)壓旁通閥,用于控制出入口間的壓差,發(fā)展了液力聯(lián)軸器驅(qū)動。為實(shí)現(xiàn)按負(fù)荷無級調(diào)速,發(fā)展了真空繼電器控制自動啟閉,它能在泵出入口壓差上升負(fù)荷增大時,自動保護(hù)羅茨真空泵不至因過載而損壞。在配套機(jī)組方面,發(fā)展了羅茨真空泵與水環(huán)真空泵、旋片真空泵、分子泵等各類真空獲得設(shè)備的配套機(jī)組,還發(fā)展了雙級串聯(lián)羅茨真空泵,并逐漸擴(kuò)大應(yīng)用范圍,充分發(fā)揮了羅茨真空泵的優(yōu)越性。
除作為機(jī)械增壓泵用于在前級預(yù)真空泵的配合條件下工作外,還發(fā)展了直排大氣的羅茨真空泵,開辟了單機(jī)使用羅茨真空泵的新路子。利用附加的水封或油封裝置,使之不用前級真空泵,通過水封或油封即可向大氣排氣,以單機(jī)作為粗真空、大抽速真空泵使用,代替?zhèn)鹘y(tǒng)的水環(huán)真空泵、旋片真空泵等,取得了提高效率、節(jié)約能源的良好效果,并在工業(yè)技術(shù)中,正逐步擴(kuò)大其應(yīng)用范圍。
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