決定真空系統(tǒng)性能的因素
決定真空系統(tǒng)性能的因素
一、工作真空度
正確地了解與確定一個(gè)設(shè)備所要求的真空度是很重要的，它接接影響到真空系統(tǒng)的結(jié)鉤選擇和對(duì)設(shè)備維修的要求。真空系統(tǒng)一定要能夠滿足作業(yè)所要求的真空度。只要系統(tǒng)具有足夠的氣密性，內(nèi)部又沒有經(jīng)常放出氣體或蒸氣的氣源，則這一要求是可以滿足的。當(dāng)然也并不是真空度愈高愈好。否則會(huì)使設(shè)備外形過分臃腫，成本增加。
二、殘余氣休成分
某些真空作業(yè)，不但要求一定的真空度，而且還要求特定的殘余氣體成分，如超高真空范圍作業(yè)，常要求無碳?xì)浠衔镂廴�，即系統(tǒng)要潔凈無油才好。但也不應(yīng)盡搞“全無油”，要從經(jīng)濟(jì)方面考慮。往往用現(xiàn)有系統(tǒng)加以改造，就可以又快又省地滿足作業(yè)的要求了。
三、工作壓強(qiáng)下的有效抽速
這要根據(jù)氣體負(fù)荷確定。系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、材料選擇、清潔處理和操作維護(hù)等都會(huì)大大影響氣體負(fù)荷。第一章已介紹了一些決定導(dǎo)管通導(dǎo)能力和對(duì)容器有效抽速的核算方法。假定系統(tǒng)通導(dǎo)能力符合要求，那么要注意作業(yè)工、卡具和材料的預(yù)除氣，以及嚴(yán)格的清潔處理，要盡可能降低氣體負(fù)荷。并據(jù)此決定前、級(jí)泵人小，仔細(xì)核算通導(dǎo)能力。若氣體負(fù)荷過大，則要考慮是否加增壓泵。有效抽速與泵抽速之比要根據(jù)泵的結(jié)構(gòu)綜合考慮，一般機(jī)械泵在95%，擴(kuò)散泵在30%-70%。
四、氣體負(fù)荷成分及負(fù)荷變化
負(fù)荷成分不同，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)選擇和泵的選擇肯定不同。粗低真空范圍內(nèi)，若含有腐蝕性的氣體，有顆粒、泥沙、塵埃的氣體就不宜用機(jī)械泵和羅茨泵，應(yīng)該用水環(huán)泵和噴射泵。用分子泵抽氣考慮到氧氣存在，應(yīng)當(dāng)并聯(lián)欽升華泵，這樣才能使真空度提高，并達(dá)到超高真空范圍。
五、日循環(huán)數(shù)
每日進(jìn)行裝料-抽氣-作業(yè)-放氣-卸料的循環(huán)次數(shù)，叫日循環(huán)數(shù)。這也是設(shè)計(jì)、改造系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，選擇、核算抽速所必須考慮的因素。必要時(shí)，泵用多室的結(jié)構(gòu)為好。例如圓排車上就常用十室泵作前級(jí)泵。
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