真空泵的抽氣原理

自從真空技術(shù)發(fā)展到這樣寬的壓強(qiáng)范圍以來(lái)，人們還沒(méi)有研制出一種能把一個(gè)容器從大氣抽至高真空或超高真空范圍的泵。

雖然所有的真空泵都是用來(lái)減少氣相分子數(shù)，但是用來(lái)獲得低壓強(qiáng)的各類泵卻涉及了幾種不同的原理。真空抽氣則是以下述一個(gè)或幾個(gè)原理為根據(jù)的。

氣體的壓縮和膨脹，運(yùn)用于活塞泵、液柱泵或水環(huán)真空泵、旋片真空泵、羅茨真空泵中。

由粘滯效應(yīng)產(chǎn)生的曳力，運(yùn)用子蒸汽噴射泵中。

由擴(kuò)散效應(yīng)產(chǎn)生的曳力，運(yùn)用于蒸汽擴(kuò)散泵中。

分子曳力，運(yùn)用于分子泵中。

電離效應(yīng)，運(yùn)用于離子泵中。

物理或化學(xué)吸著，運(yùn)用于吸附泵、低溫泵及吸氣過(guò)程。

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