真空系統(tǒng)的幾種分類
真空系統(tǒng)的幾種分類
1.粗真空系統(tǒng)
用粗真空泵(如水蒸氣噴射泵或水環(huán)泵)直接從大氣壓下為真空室排氣,組成的真空系統(tǒng)即為粗真空系統(tǒng).該系統(tǒng)是最簡單的真空系統(tǒng)。
2.低真空系統(tǒng)
用低真空泵(如油封式機械泵)給真空室排氣,即可組成低真空系統(tǒng)。
3.中真空系統(tǒng)
4.高真空系統(tǒng)
這種系統(tǒng)應(yīng)用較廣泛,它的工作壓力范圍一般在1.33×10-2~1.33×10-3Pa.
(1)擴散泵串聯(lián)機械泵的真空系統(tǒng)?梢垣@得10-2~10-5Pa的真空度,一般用在工作時放氣量比較小的應(yīng)用設(shè)備上。該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡單。工作可命,成本低。缺點是系統(tǒng)啟動慢,預(yù)抽時間長。擴散泵的油蒸氣容易返流到真空室中去。
(2)擴散泵申聯(lián)油增壓泵,再串聯(lián)油封機械泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)的預(yù)抽時間短,但啟動較慢。
(3)擴散泵串聯(lián)羅茨泵(機械增壓泵),再串聯(lián)機械泵的真空系統(tǒng)。它的啟動慢.但預(yù)抽氣時間短。
5.超高真空系統(tǒng)
(1)擴散泵串聯(lián)機械泵申聯(lián)冷阱系統(tǒng)。
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