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真空的獲得方法及真空泵的組成

 

真空的獲得方法及真空泵的組成

(1)利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)的方法獲得真空的泵-機(jī)械真空泵,如往復(fù)真空泵、滑閥式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、羅茨泵等.

(2)蒸汽流真空泵,如油增壓泵、金屬油擴(kuò)散泵、水蒸汽噴射泵等,(3)吸附性泵,如屬于化學(xué)吸附性的有欽升華泵、蒸汽吸氣劑離子泵、濺射離子泵等,屬于物理吸附性的有冷吸附泵、深冷吸附泵、篩吸附泵等。

真空泵的組成

(1)被抽真空容器 如真空爐爐體,鍍膜機(jī)的真空室等;

(2)抽氣設(shè)備 機(jī)械泵,油擴(kuò)散泵,增壓泵等;

(3)測(cè)量?jī)x器 壓縮式真空計(jì),電離-熱偶復(fù)合真空計(jì);

(4)真空閥門(mén) 真空閘板閥(蝶閥)、氣動(dòng)(電動(dòng))真空閥;

(5)真空導(dǎo)管 低真空導(dǎo)管和高真空導(dǎo)管;

(6)其他 管道、過(guò)濾器、水冷擋板。

在抽氣過(guò)程中,真空系統(tǒng)內(nèi)部壓強(qiáng)各處是不同的.

壓強(qiáng)是逐漸由大氣壓變到真空的,而系統(tǒng)內(nèi)部壓強(qiáng)分布的形式總是不變的,即在真空泵工作的過(guò)程中系統(tǒng)內(nèi)的壓強(qiáng)在各不同斷面上總是不等的,這樣才可以進(jìn)行抽氣。
 


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